PINUS1-B

關鍵字導讀: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驅電機結構,全新的IO模塊,具有先進的防碰撞保護功能及輸入信號支硬件中斷功能,擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。

簡介

直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。

參數

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