Pre-Aligner預對準機SALN-612A-2V

關鍵字導讀: TRACK ETCH CVD PVD MOCVD

描述:定位精度高,對準速度快,網絡化控制器,適用于Notch和Flat缺口類型,采用真空負壓吸附。

簡介

晶圓預對準是晶圓搬運以及整個IC制造過程中的重要環節,晶圓的定位與識別都需要Pre-aligner的參與。晶圓預對準的目的是計算晶圓的偏心并找到其缺口,進而補償其偏心并將缺口轉至一預設方向,為下一步的晶圓識別或處理做好準備。新松Pre-Aligner具有定位精高、對準速度快等優點,大大縮短了晶圓的傳輸與處理時間,提高了晶圓的生產效率。

參數

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