真空機械手SRBZ820C-SMSX/G

關鍵字導讀: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:磁流體密封、網絡化控制器、MCBF大于1000萬次,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選,手指及接口用戶可定制的特征,耐高溫、耐腐蝕,動態糾偏和碰撞保護功能。

簡介

機械手采用耐高溫手指有隔熱設計,可用于放置高溫托盤,短時間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設計理念降低了接觸面的表面粗糙度,加大熱阻。同時具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃,提高運動節拍,提高了用戶產能。在半導體前道高端設備中廣泛應用,推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。

參數

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